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在半導體晶元加工與精密電子制程中,精密烘干設備是完成晶元除濕、固化、穩溫處理的專用裝置,保障元器件制程品質穩定。晶元烘箱適配半導體精密烘干工藝,可為晶元物料提供潔凈恒溫的處理環境。熟知設備各部件功能特性,能夠規范使用晶元烘箱,滿足半導體精密加工的烘干需求。1、潔凈密閉爐體爐體采用精密鈑金與密封結構打造,整體密閉性良好,可隔絕外界粉塵、雜質進入腔體。內壁材質光滑無析出,不會對晶元表面造成污染,契合半...
查看更多2016-09-01
2016-08-18
2016-07-22
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2013-08-14